- 类型：测试腔
- 测量范围：高真空
- 测量精度：精准
- 测量时间：快速
- 测量温度：-190°C-400°C
真空测试腔：主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ100mm，台面可升温到400℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。
真空测试腔 技术参数；
真空腔体 | |||
类型 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
腔体材质 | 304不锈钢 | ||
腔体内尺寸 | Φ88mmX59mm | ||
腔体外尺寸 | Φ112X65mm | ||
腔体重量 | 约2.6KG | ||
腔体上视窗尺寸 | Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | ||
腔体抽气口 | 可扩展KF16法兰 KF25法兰 | ||
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | ||
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选 | ||
腔体电接口 | 5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口， | ||
腔体正压 | ≤0.1MPa | ||
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | ||
制冷接口 | 无 | 3mm液氮管道 | |
样品台 | |||
样品台材质 | 不锈钢 | ||
样品台尺寸 | 26x26mm | ||
样品台加热方式 | 电阻加热 | ||
样品台-视窗 距离 | 48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | ||
样品台测温传感器 | PT100型铂电阻 | ||
样品台温度 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | ||
样品台升温速率 | 高温50℃/min 值 | ||
温控仪 | |||
温度显示 | 7寸人机界面 | ||
温控类型 | 标准PID温控 +自整定 30段编程控温 | ||
温度分辨率 | 0.1℃ | ||
温控精度 | ±0.5℃ | ||
温度信号输入类型 | PT100铂电阻（可选热电阻 K S B型热电偶） | ||
温控输出 | 直流线性电源加热 | ||
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | ||
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | ||
