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气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中不可少的重要装备，并可离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP1L 纯气体纯化器系列主要服务于各类科研与分析仪器，如气相色谱仪、辉光质谱仪、光谱仪、镀膜机等，为其高纯度载气或分析气，也可用于材料气相沉积生长、磁控溅射镀膜、高焊接等用气纯度。
气体种类 | 产品用途 | 应用领域 |
He | 载气、保护气纯化 | 色谱仪等分析仪器载气 |
Ar | 载气、保护气、吹扫气纯化 | 辉光质谱仪、磁控溅射、纳米材料制备，热处理保护气，氩弧焊吹扫气 |
N2 | 保护气、吹扫气纯化 | 磁控溅射反应气、气路吹扫气 |
H2 | 反应气、保护气纯化 | 材料生长、镀膜反应气、退火保护气 |
