1. 声显微成像仪（生产型设备）
声显微成像仪FastLine P300，FAS2 DF2400。
FastLine P300的紧凑设计将占地面积减到的小，其的输送系统能够在扫描一个JEDEC盘或样品盘的同时将下要扫描的样品放在水中的另一个托盘上等待扫描。 FastLine已经成为元器件筛选的新平台。
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? 输送系统实现产量的大化（）； ? 准确定位，更快扫描及自动分析； ? 运用Visual PolyGate技术实现建议快捷的多层深度扫描； ? 多语种操作系统和直观的操作界面； ? 人体工程学设计以操作者的舒适度及工作效率； ? 占地面积的小化的适宜在车间使用。 |
FAS2自动检测JEDEC托盘或工业标准载盘 (Auer Boat Carrier) 中的器件。该FAS2也可以处理引线框架条，IGBT功率模块，多层陶瓷贴片电容，倒装芯片和其他组件。
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? 机台匹配功能； ? 与SECS-Ⅱ/GEM(SEMI E30)及SMEMA兼容； ? 非浸水的瀑布式和/或喷泉式探头； ? 自动数据分析软件包； ? 真空吸附功能（选项）让小样品在扫描中固定不动； ? 分离式干燥腔，可加4个摆动的气刀；可加热空气（选项） ? 的全分析能力； ? 具有JEDEC托盘，Auer Boat载盘或者IGBT模块多种扫描组件选择。 |
2. 声显微成像仪（实验室设备）
声显微成像仪D9600，GEN6。
专门为故障分析，工艺开发，材料特性批量的生产检测而设计一款通用工具，D9600的功能是真正拟的。
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? 多门控成像和好的门控功能的PolyGate技术具有单层和多层聚焦成像的能力； ? 每个通道可达100个门； ? Windows7多语言版及64位能力； ? 好的的扫描，以扫描机构为参照点的扫描平台和样品夹具； ? 还有数字图像分析，水循环，瀑布式探头及在线温度控制等选项。 |
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Gen6 所具有的功能的为广泛， 能适用于失效分析，工艺改进，研发，高性好的及中等 产量筛选等。
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? 包括D9600的特色，外加上： ? Sonosimulator功能用于多层分析； ? VRM虚拟再升扫描功能； ? 探头可选至400MHz； ? ASF表面平整度测量功能； ? DIA数字图像分析； ? 惯性平衡装置； ? 双高清显示屏； ? 可选弧形桌面和矩形桌面； ? FDI频域成像功能。 |
3. 声显微成像仪（型设备）
声显微成像仪AW系列，J610。
AW系列产品是专门为晶圆检测设计的全自动系统。适 用 于多种键合晶圆 (SOI,MEMS,LED, 2.5D和3D)的检测分析具有高的灵敏度和产能。AW系列能够检测出两晶片间直径小于 5微米的空洞以及晶片间薄如200埃的脱层。。
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? Quantitative Dynamic Z量化动态Z功能-对不平等的晶圆保持聚焦 ? 与SECS-Ⅱ/GEM/SIMI300毫米标准兼容； ? 全自动检测100mm至300mm的晶圆； ? 瀑布式探头提供非浸泡扫描； ? 行业的图像分析功能； ? BOLTS标准接口适用于FOUPs，SMIFPod，FO及开放式晶圆盒； ? 自供水和抽真空组件（选项） |
J610是一款半自动产线设备，能够扫描610mm(24in)宽的印刷电路板及样品，也可以同时扫描6个JEDEC盘。
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? 惯性平衡线性扫描仪； ? AutoScan功能快速对特定区域进行重复扫描分析； ? DIA数字图像分析功能能设置自动接受/拒收标准； ? 温度控制选项能好的控制水温； ? Sonoscan专有的Q-BAM量化B-扫描功能提供虚拟横截面图像； ? Sonolitics操作界面利用Windows7Ulitmate实现多种语言互换和64位的能力。 |
