1.台式匀胶机旋涂仪产品简介
WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司开发完成，具有知识产权。
匀胶机快速启动和稳定的转速，能够胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制，三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至下进行甩胶，转速及相应的时间分别可调；实现启停可控，转速实时观察等功能。仪器配置“开关”按钮，当进行运转时，关上上盖后，“开关”启动，运行过程中，上盖不能打开。可以起到保护作用。
2.台式匀胶机旋涂仪技术参数
2 转速：300-4500RPM
2 时间控制：1--32767s
2 转速稳定性：±1%
2 胶的均匀性：±3%
2 参数设定：触摸屏设置参数
2 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶
2 电源输入：AC220V±10V,50HZ
2 功率：60W
2 重量：13kg
2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）
2 工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80%
3.台式匀胶机旋涂仪特征图解
①撞垫②匀胶托盘③触摸屏④吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关
4.台式匀胶机旋涂仪操作说明
（1）选择合适的吸附盘（略小于样本尺寸），将缺口对准螺钉安装，吸附盘安装时要到底。
（2）开启电源，进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间，按工艺设置好转速和时间，点击“确定”。
（3）进入启动仪器界面，放片，要注意放正。打开真空泵，点击“吸盘”后点“启动”，仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。
（4）滴胶，动作要快。在一阶段运转时间内滴胶完毕，关上上盖；间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后，开关启动，须等到仪器停止运行，上盖才能被打开。
（5）电机停转后，点击脱盘，吸片停止。打开上盖，取下片子。
（6）继续匀胶时重复以上步骤。
（8）匀胶结束后，关上上盖，切断电源。
5.台式匀胶机旋涂仪维护清洗
属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗
1.正常使用半个月的；
2.胶被吸入抽气室的；
3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。
6.台式匀胶机旋涂仪常见故障排除
下列故障非本机故障，用户可参考自行解决，若仍不能排除故障，请及时拨打本公司服务热线：0512-62525801，本公司将竭诚为广大用户服务。
故障现象 | 原因 | 排除 |
电机不转 | 1.电源线没插好 | 插好电源线 |
2.保险管熔断 | 换用同规格新的保险管 | |
硅片没吸住 | 1.吸气管未插 | 插好吸气管 |
2.真空泵没开 | 打开真空泵 |
台式匀胶机旋涂仪注意事项
拆开包装后，请按照装箱单详细检查配件，如有缺失，请联系销售商。注意须将包装和泡沫垫卸下，否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。
操作前请详细阅读本说明内容，并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失，制造商将不予承担。
(1) 安置本仪器的桌（台）面应坚实平整，四只橡胶脚垫应与桌（台）面平稳接触，否则会产生仪器不平稳，从而导致标准的震动，致使器件损伤或仪器停止运行。
(2) 仪器工作时，操作人员不得倚靠在仪器上，非工作人员不得在非空间内逗留，匀胶机周围不得放置危险物品。
(3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室，导致气路堵塞。
(4) 如果不慎胶被吸入了抽气室，要立刻进行清洗，否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。
(5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片，故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。
(6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系，切勿自行打开机壳。严禁非人员维修，维修时须先拔下电源插头，事故发生。
台式匀胶机旋涂仪装箱清单：
名称 | 单位 | 数量 |
匀胶机机体 | 台 | 1 |
电源线 | 份 | 1 |
吸附盘4寸 | 个 | 标配 |
吸附盘1寸、2寸、3寸、5寸 | 个 | 选配 |
无油真空泵 | 个 | 选配 |
使用手册 | 份 | 1 |
质检 | 份 | 1 |
合格证 | 份 | 1 |
保修卡 | 份 | 1 |
无油真空泵：又称干式真空泵，是泵的工作腔内没有任何介质，可以原汁原 味的回收气体。
无油真空泵技术参数：
1）型号：AP-550V
2）抽速：1.5 升/秒
3）功率：320W
4）噪音：58db
5）电压、频率：~220V/50HZ
6）lowest真空度：-700mmHg
7）重量：5.8kg
8）外形尺寸：240×130×200mm
注：清点包装箱内的附件和印刷资料，箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。
