概要
MT-30AM系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 低单价,,高
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可选用MT系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
格，,高 MT-30AM 模拟式系列 热式质量流量計/流量控制器 |
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
(小体积型)
型号
MT-30AM | □ | □ | － | □□□ | － | □□□ | － | □ | □ | □ |
型式 | A | 模拟式 | ||||||||
B | 数字式 | |||||||||
功能 | M | 流量计 | ||||||||
C | 流量控制器 | |||||||||
流量范围 | ABC | |||||||||
气体种类 | 013 | N2 | ||||||||
008 | Air | |||||||||
015 | O2 | |||||||||
004 | Ar | |||||||||
025 | CO2 | |||||||||
001 | He | |||||||||
FFF | 其他 | |||||||||
接头 | 1/4”VCR | 1 | ||||||||
1/2”VCR | 2 | |||||||||
3”SWL | 3 | |||||||||
6”SWL | 4 | |||||||||
其他 | F | |||||||||
讯号 | DC 0~5V | 1 | ||||||||
其他 | 2 | |||||||||
电源 | DC+/-15V | 1 |
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
功能 | 流量计/控制器 | |
基本型号 | MT-30AM | |
满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±2(＞15SLM.) | ||
控制阀动作型式 | 常闭式 | |
线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
±2％(＞15SLM.) | ||
重复(％F.S.) | ±0.2 | |
响应时间(sec) | ≤1 | |
流量输出信号 | 0-+5.00V | |
流量设定信号 | 0-+5.00V | |
电器接头 | DB15 pin(接头) | |
工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
耐压 | 3MPa | |
介质接触材质 | 304，316，316L | |
密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，橡胶，聚四氟乙烯 | |
接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 0.75KG |
尺寸/定义图
设定/显示/电源一体型控制器 MT-1A
1: 输出电源：+15V±5% 500mA -15V±5% 500mA 开孔尺寸：92×92mm 6： 显示器：128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光 |
