气浮气浮平移台系列是经过我们长期不懈努力推出的，高、刚度强，已获。国内外水平
气浮平移台实现了设计定型，可以快速订制，行程250mm（12寸）XY台正在备现货。
我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率200nm，等同于光栅。
也可提供双频激光反馈控制，稳定可达20nm，有成功。
采取隔尘措施后，可应用于高生产场合。
可提供长行程单轴工作台。
也可采用音圈电机、高丝杠配合我们的5自由度气浮联轴器，驱动工作台。
平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。
天津中精微仪器设备有限公司
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