设备处理量：
1以提篮为片盒载具入槽进行处理，每槽同时处理一个提篮，提篮规格为420×330×350mm, ：采用6mm不锈钢元棒焊接制作；
2 篮装载量为：性可装 2 寸花篮 4 个,4 寸花篮 2 个,6 寸花篮 1 个
3 提篮入槽、出槽及工位间（上料位、四个工艺槽体、下料位）传递均由人工完成。
4 提篮数量：4个；晶片承载器由用户另行购买；
5 生产节拍：5-10min/篮
设备描述：
1 设备结构外形：
1.1 设备结构外形如图一所示，整机主要由机架、槽体、电控单元、水路系统及气路系统等组成。 1.2设备机架、槽体采用不锈钢结构，外封板选用10mm白色PP板制作，底架及支架不锈钢方通焊接组装。
1.3 整机管路系统设置在设备后下方。
1.4 设备前、后下方均设有维护门。
1.5设备底部配有腐脚轮和支撑地脚。
2 设备设置：
2.1具有漏电断路保护装置。
2.2具有过载及过温保护功能
