采用氧气源的臭氧机得到了快速发展。目前氧气源主要有四种方式：氧气瓶，家用制氧机，臭氧专用制氧机，分体式制氧系统。
氧气瓶：是臭氧发生器氧气源代产品。 优点是性投入少，氧气纯净。缺点是氧气瓶是消耗材料，需经常换氧气瓶。长期运行成本高，要经常更换，使用起来比较麻烦。在氧气瓶充足场合可以使用氧气瓶。
家用制氧机：是臭氧发生器氧气源第二代产品。 采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在 90% 以上。优点是设备容易获得。和氧气瓶相比，没有消耗，不用经常换氧气瓶。缺点是该设备本来用于不是臭氧专用设备，不能长期连续运行，不耐臭氧，不耐潮湿。通常是 3L-5L/ 分钟产量。
臭氧专用制氧机：是臭氧发生器氧气源第三代产品。杭州桂冠环保科技有限公司是国内推出臭氧专用制氧机厂家。采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在 90% 以上。采用防腐蚀材料，气源深冷，多级除湿装置。整个设备耐腐蚀，耐潮湿，温升低。HG系列制氧机产量通常有每分钟 5L-50L 。
