目标
1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。
2 使化学物质沉淀在晶片上。
微米位移传感器解决方案
在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。
微米位移传感器特点
1类型：SMT-9700
2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。
3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
4 应用广泛。
微米位移传感器能静态和动态地非接触、高线性度、高分辨力地测量被测金属导体距探头表面的距离。它是一种非接触的线性化计量工具。电涡流传感器能准确测量被测体（必须是金属导体）与探头端面之间静态和动态的相对位移变化。
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