实现更快，更简便测量
自动光学倾斜测量头
在8um及以上的台阶高度标样上测得.
自动光学倾斜测量头
全自动X,Y, Z样品台
自动光镜转塔，放大镜，和测试光选择
更灵活而稳定的震
集成式充气式震台
高稳定度，空间节省
更强大的测量和分析
简单明了，人性化的工作流程
实时自动优化测量
完整的数据分析软件包
可定制的分析
测量
布鲁克的倾斜测量头为用户提供了大的灵，实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能，布鲁克这一技术实现了将观察位置保持在焦平面处，为用户实际使用时带来了很大便利。
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是的，这样在批量测试时速度也大大。
这一特点结合样品台与物镜的电动控制使得三维光学显微镜Contour GT-I 成为了具有较小占地却能同时满足多种测试要求的测量平台。
业界方便灵活的测量方式
除上述优点外，三维光学显微镜ContourGT-I通过的设计直接在机台上集成震系统，使其直接满足各种环境条件，包括工厂，实现准确地测量。
这一经过严格测试的震系统为用户提供不折不扣的优化测试条件，从而得到重复性的定量数据。
三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求，优异，可计量的测试结果。
| 扫描量程 | 可达10mm |
| 垂直分辨率 | <0.01nm |
| RMS 重复性 (PSI) | 0.01nm |
| 台阶高度准确性 | 0.75% |
| 台阶高度重复性 | <0.1% 1 sigma repeatability** |
| 扫描速度标准相机 | 73 μm/sec |
| 样品反射率 | 0.05%-100% |
| 坡度–光滑面 | 可达40° |
| 坡度–粗糙面 | Upto87° |
| XY样品台 | 150mm(6in.) 自动 |
| Z调焦范围和样品高度 | 100mm(4in.)automated,(6in.) |
| 头部倾斜 | ±5°自动 |
| 光学测量模块 | 双LED（）照明,单筒物镜或转塔，单个放大镜或自动转动放大镜 |
| 物镜 | 同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
| 长工作距离:1x,1.5x,2x,10x | |
| TTM:2x,5x,10x,20x | |
| 明场:5x,10x,20x,50x | |
| 放大镜 | 0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 相机 | 标配:640x480 |
| 高清(可选):1280x960 | |
| 彩色(可选):640x480 | |
| 软件系统 | 基于Windows 7 64位操作系统的Vision64 分析软件 |
| 可选软件包 | 生产模式; Annular 分析; 分辨率模式自动对焦; 光学分析包; 成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS（图案化蓝宝石衬底）测试模式 |
| 校准 | 可溯源的台阶高度标准样 |
| 占地 | 450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
| 可测样品重量 | 十公斤 |
| 系统总重 | 六十公斤 |
| 保修期 | 12 个月 |
在8um及以上的台阶高度标样上测得.
VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm.
