伯东代理德国 Pfeiffer 多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 应用于某电子股份公司VC单漏.
上海伯东客户是世界IT产业之一,分公司及营业处美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地,员工近
90000人。企业是的电源供应器制造商,达25%以上。VC 单体是客户内部叫法,它广泛应用于工业自动化设备,如
PLC、变频器、伺服器等。
需要检漏原因:VC 单体内部中空,出厂前需要小漏率E-8 mbarl/s,否则会影响正常使用。
由于产能大,客户在采购伯东氦质谱检漏仪 ASM 340 之前就已经有 2 台 Ulvac 检漏仪在用,分别是 Heliot 700 和 Heliot 710.客户反映 Ulvac 检漏仪保养频率较高,检漏仪启动时间和抽气时间较长,平均每检测一个产品花费的时间大约 8min,而采用 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 需不到 3min。
检漏方法:VC 单体采用检漏仪的真空检漏方法,检测整体漏率,因为产品没有抽真空的标准接口,所以定制了一个夹具,一头接氦质谱检漏仪,一头接VC 单体,具体做法如下:
1.启动氦质谱检漏仪 ASM 340,装上夹具
2.将 VC 单体夹具,并用真空封泥封堵
3.按下氦质谱检漏仪的 start,开始抽真空
4.在 VC 单体周围喷氦气,以 E-8 mbarl/s 为合格线
ASM 340 氦质谱检漏仪由德国 Pfeiffer 设计和制造,其配备的 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂,如英福康 Inficon UL1000 检漏仪、爱发科 Ulvac Heliot 检漏仪、布鲁克 Bruke 设备、岛津 Shimadzu 分析仪器等。
新款氦质谱检漏仪 ASM 340 特点:
1. 前级泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h
2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦抽速 2.5 l/s
3. 检漏:
真空模式:5E-13 Pa m3/s
吸模式:5E-10 Pa m3/s
4. 移动式操作面板(有线、无线)
5. 集成SD卡,方便资料处理
6. 破大气、震动,降低由操作失误带来的风险性
7..丰富的可选配件,如吸、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
Pfeiffer 还有干式检漏仪,如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 检漏仪 ,在半导体行业普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推车的 ASM 380 检漏仪等。而工作台式检漏仪 ASM 1002 提供可选腔体让诸如电子元件这样的小产品得以快速方便的检漏。
Pfeiffer 检漏仪有广泛的应用,如科研杜瓦瓶检漏、工业镀膜机检漏、电厂检漏、消器材检漏、半导体 PECVD MOCVD 检漏等。
上海伯东提供生产与检测配套方案,如给某磁控溅射企业配置了美国考夫曼公司 KRI 离子辅助镀膜和 ASM 340 腔漏;给某热管企业配置了 ASM 340 检漏仪和保压罐、真空测试罐等。
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。