原子力显微镜
FM-Nanoview 6600AFM
一、扫描探针显微镜功能特点
1. 光机电一体化设计，外形结构简单； 2. 扫描探头和样品台集成一体，干扰能力强； 3. 精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便； 4. 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描； 5. 伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域定位； 6. 高大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域； 7. 高大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同和扫描范围要求选择； 8. 自由变倍的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域； 9. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大； 10. 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护； 11. 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。 |
二、
1. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图； 2. 多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能； 3. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域； 4. 可任意选择样品起始扫描角度； 5. 激光光斑检测系统的实时调整功能； 6. 针尖共振峰自动和手动搜索功能； 7. 可任意定义扫描图像的色板功能； 8. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能； 9. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正； |
友好的软件界面及操作功能
三、主要技术参数
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名 称 | 参 数 | 名 称 | 参 数 |
工作模式 | 轻敲模式、接触模式 | 扫描角度 | 任意 |
样品尺寸 | Φ≤80mm；H≤20mm | 样品移动范围 | 0～20mm |
扫描范围 | 横向50um，纵向5um | 马达趋近脉冲宽度 | 10±2m |
扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm | CCD放大倍数 | 光学放大0.6～5X，电子放大40X |
扫描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 图像采样点 | 256×256，512×512 |
扫描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A | 反馈方式 | DSP数字反馈 |
数据采样 | 14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 | 反馈采样速率 | 64.0KHz |
仪器重量体积 | 40KG，700*480*450mm | 计算机接口 | U2.0 |
运行环境 | 运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统 | ||
