ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,高
4双直线电机驱动XY轴
5轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
±1um
重复定位±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
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ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,高
4双直线电机驱动XY轴
5轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
±1um
重复定位±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um