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离子溅射仪
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离子溅射仪

产品价格:
电议
产品型号:
108 108Auto 108C
供应商等级:
企业未认证
经营模式:
贸易商
企业名称:
溢鑫科创科技有限公司
所属地区:
上海市
发布时间:
2014/7/15 17:29:02

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Hellen Shu女士(联系我时,请说明是在维库仪器仪表网看到的,谢谢)

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溢鑫科创科技有限公司

企业未认证营业执照未上传

经营模式:贸易商

所在地:上海市

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Cressington 108Auto全自动离子溅射仪是用于电镜样品前处理,制作电的高质量的镀膜仪系统

 

主要优势功能:


自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和的导电喷镀效果。

通过低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。

可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)(分辨率0.1nm,-99.9nm到+999.9nm)

数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和的镀膜效果。

可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更换快速方便。

 

技术规格:


样品仓尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),度不锈钢结构

样品台:可放置12个标准SEM样品座,高度可在 60mm内调节

溅镀优点:基于微处理器反馈控制,远程电流/电压感应;提供真空联锁装置,180A,配有过流保护

溅射控制:微处理器控制,互锁,可调,电流40mA,程序化数字控制

溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量:真空 Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器: MTM-10高厚度监测器(选配)

控制方式:自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气

电源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括镀碳机和真空系统)

氩气: 纯度99.9%,压力调节0.5-0.6 bar, 6mm连接软管

联系方式

溢鑫科创科技有限公司

联系人:
Hellen Shu女士
所在地:
上海市
类型:
贸易商
地址:
上海市钦州北路华京商务大厦1032室

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