在很多纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的对于过程处理的正常运作。一直以来,对的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当的方案,用来在线测量值,下限的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻传感器生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和纯气体应用的位变送器。
亮点
- 测量下限 -120°C (1 ppbV)
- 测量稳定,重复性好
- 高度集成的采样装置
- 模拟和数字输出
- 安装简便
- VCR 过程接口
- 设计紧凑小巧
- 显示/报警单元可选
技术指标 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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