AWM2000 系列小流量 / 无放大气体流量传感器
特点:
● 双向气流传感
● 实际气体质量流量传感
● 流速0~30sccm 到0~1000sccm
● 需另加发热器控制及传感桥路供电电路
AWM2100V技术规格:10.0 &plun; 0.01VDC
● 流量范围(刻度):&plun;200sccm
● 输出电压:30mV
● @标定点:@100sccm
● 点漂移,te:+25 ~ -25�0�8C +25 ~ +85�0�8C &plun;0.2mV
● 输出电压漂移:+25~-25�0�8C +2.5% 读数; +25 ~ +85�0�8C -2.5% 读数
● 重复性&迟滞 Max:&plun;0.35% 读数
● 电源(VDC)(1):Min8.0 10&plun; T0.01 Max15
● 功耗(mW):30 50
● 点电压(mV):-1.0
● 反应时间(ms):1.0
● 传感器电阻(KΩ)(1-2 脚, 1-6 脚):5
● 工作温度:-25-85�0�8C
● 储存温度:-40-90�0�8C
● 冲击(5drops,6axis):100g 峰值