| 型号 | Excel1601UM/UC | Excel1602UM/UC | Excel1604UM/UC |
| 量测行程 | 1050x1650x160mm | 1050x1650x250mm | 1050x1650x400mm |
| 外形尺寸 | 1720x2600x1650mm | 1720x2600x1850mm | 1720x2600x2000mm |
| 重量 | 3450kg | 3500kg | 3600kg |
| 光学尺分辨率 | 0.1μm | ||
| XY,E2 | 3.3+L/300 | 3.6+L/300 | 4.3+L/200 |
| Z,E1 | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 3.8+L/100 |
| 镜头倍率(光学,数字) | 36x(12x,3x) | ||
| 表面光,轮廓光, 同轴光光源 | 红光LED(黑白系统)白光LED(彩色系统) | ||
| 放大倍率 | 15x-540xto30x-1080x | ||
| 电源系统 | 93-264VAC,47-63Hz | ||
| 工作温度 | 20℃±2° | ||
| 存放温度 | -25℃~60℃ | ||
| 工作湿度 | 30%-80% | ||
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