| 类型 | 质量流量计 | 测量范围 | 10 sccm – 50 slm。（m3/h） |
| 等级 | 1％ |
ALTA®系列金属密封数字质量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A数字质量流量控制器/质量流量器，满量程范围从10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A数字质量流量控制器，满量程范围从20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金属密封质量流量控制器
- 1479A/179A质量流量控制器/质量流量器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，各种模拟和数字通讯口可选。
- M330B低压质量流量控制器，其满量程范围从5–100 sccm
- M330H高温型(150℃）质量流量控制器，其满量程范围从10sccm – 40 slm
MASS-FLO®系列橡胶密封质量流量控制器
- 1179A/2179A质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm，模拟和数字通讯口可选。
- M100B/M10质量流量控制器/质量流量器，其满量程范围从10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量质量流量控制器/质量流量器，其满量程范围从20– 200 slm
- 1579A/579A大流量质量流量控制器/质量流量器，其满量程范围从50 – 300 slm
代理美国美国MKS的系列产品:
等离子体电源及反应气体发生器Power & Reactive Gas
真空技术Vacuum Technology
流量测量及控制Flow Measurement & Control
压力测量及控制Pressure Measurement & Control
气体分析Gas Analysis
控制信息与技术Control Information & Technology
小型检漏仪Leak Detector
校准系统Calibration
电离化与工业静电控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系统Integrated Subsystems
电子系统Medical Electronics
生物医药应用Biopharmaceutical
有采购需要，请和我们联系，欢迎洽谈！
