1、非接触式测量:避免对象受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm---200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以0.1nm。
5、数字讯号处理器:实现测量需要几秒钟。
6、扫描仪:采用循环控制系统。
7、工作台:气动装置、震、压。
8、测量软件:基于windows操作系统的使用者接口,强大而快速的运算。
应用领域:
1、半导体芯片
2、液晶产品(CS,LGP,BIU)
3、微机电系统
4、光纤产品
5、资料存储盘(HDD,DVD,CD)
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物工程