Ø微区膜厚测量通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度膜厚测量的。
Ø多达5层的多镀层测量使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
Ø广域观察系统(选配)可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
Ø对应大型印刷线路板(选配)可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
Ø位与以往机型相比,既了功能性又降低20%以上的价格。
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