扫描电镜

　　销量2000台！
　　飞纳台式扫描电镜能谱版
　　——智能、、能谱电镜一体化
　　放大倍数：20×-100，000×
　　分辨率：18nm
　　电子：1500小时CeB6灯丝
　　抽真空时间：10秒
　　加速电压：5/10/15　kV　三档
　　能谱仪EDS元素分析功能
　　拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，拼图等
　　Phenom　ProX（飞纳台式扫描电镜能谱版）是Phenom第三代产品，结合了表面成像功能和元素分析能谱EDS功能，能谱仪　EDS的可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。
　　电镜能谱一体化设计，简洁小巧
　　Phenom　ProX　的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，售后的宗旨，Phenom　ProX的能谱仪EDS　系统嵌入在电镜主机中，利用半导体制冷，无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom　ProX的对比图
　　带能谱仪D的传统电镜
　　Phenom　ProX
　　电镜分辨率显著
　　Phenom　Pro　100000倍
　　Phenom　ProX　100000倍
　　得到样品表面形貌和元素含量
　　步：利用成像模式得到高分辨率的照片，背散射电子给出丰富的成份像，杂质一目了然
　　第二步：如果需要分析元素含量，切换到成份分析模式，点击感兴趣的区域，立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布
　　5kV，10kV，15kV　三档加速电压
　　Phenom　ProX提供三档加速电压，用户可根据样品类型和测试目的，灵活切换
　　5kV：血液缘体直接观测模式
　　适合对电子束敏感的样品
　　10kV：电路板分辨率模式
　　适合大部分样品
　　15kV：电路板元素分析模式
　　X射线特征谱线更明显
　　表面形貌和成分信息同时展现
　　背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom（飞纳）采用4分割半导体背散射电子探测器，为您提供两种成像模式，模式之间可切换：
　　？成份模式：同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨
　　？形貌模式：去除成份信息，样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰，适用于表面粗糙度和缺陷分析
　　成份模式
　　4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加
　　形貌模式
　　4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消
　　成份模式图像包含样品成份与形貌信息
　　形貌模式图像突出样品表面形貌特征
　　直接观看缘体，无需喷金
　　Phenom（飞纳）采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。
　　利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，
　　操作简便，导航
　　？自动/手动聚焦
　　Phenom（飞纳）操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。