全自动测量，CNC四轴控制；
采用高花岗岩底座、主柱，长期稳定性；
组件采用品牌；
全鼠标/摇轩自动化控制，简单易用；
组合式照明配置，适应各种物体尺寸的测量；
自动对焦，测量性；
自动对焦测高，可加配接触式测针。
采用高花岗岩底座、主柱，长期稳定性；
组件采用品牌；
全鼠标/摇轩自动化控制，简单易用；
组合式照明配置，适应各种物体尺寸的测量；
自动对焦，测量性；
自动对焦测高，可加配接触式测针。
其他说明
| 型号 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 | |
| 行程(mm) | 200* 100* 200 | 300* 200* 200 | 400* 300* 200 | 500* 400* 200 | |
| 外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 | |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
| 测量 | XY轴 | (2.5+L/200)µ m | |||
| Z轴 | (5+L/200)µ m | ||||
| CCD | 像素彩色CCD | ||||
| 光学系统 | NITAR镜头,光学放大倍率:0.5x - 4x,总放大倍率:36x - 288x | ||||
| 光源 | 轮廓光 | LED方形光源,亮度可调 | |||
| 表面光 | 多角度LED环形光源,亮度可调 | ||||
| 光栅尺分辨率 | 0.5µ m | ||||
| 运动控制 | 多轴高运动控制卡 | ||||
| 软件 | HIG析杰 | ||||
| 电源 | 220V/50Hz | ||||
| 工作环境 | 温度20℃&plun; 2℃,温度变化< 2℃/hr,湿度40~80% | ||||
| 振动< 0.002g,低于15Hz | |||||
