工具显微镜（HISOMET）

　　UNION HISOMET 工具显微镜，测量显微镜，
　　
　　品牌：UNION
　　型号：HISOMET系列
　　
　　非接触式深度测量工具显微镜
　　
　　HISOMET系列工具显微镜为一X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍数由5至1000×。为求工件在Z轴深度/高度测量时的，Z轴对焦采用一光学“裂像指示器”，结合精密的Z“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，1μm，配合附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm.
　　技术规格
　　型号：DH II
　　工作台行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
　　Z轴测量范围：25mm/25mm/25mm
　　三轴分解度：0.001mm
　　Z轴读数装置：ID-F内置数显表/外置数据处理系统
　　反射照明系统：内置8V-15W钨丝灯/外置冷光源
　　标准目镜：10X
　　标准物镜：10X
　　读数系统
　　DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统
　　
　　功能：
　　非接触测量微细的撞击、台阶等。
　　◎通过高的光学聚焦点检测和的聚焦指示器完成高的测量
　　◎简单的操作
　　◎Z轴测量行程可从几个到25mm
　　◎同时还可以完成测量点的表面观察
　　
　　Union hisomet DH2高非接触深度测量显微镜
　　采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高的测量。。
　　
　　用户ASAT，ST 博士，覆盖了80%的半导体工厂。