主要特征:
横梁与Z轴采用表面阳化航空铝合金,温度一致性;并降低了运动部件的质量,减少测量机在运行时的惯性
三轴导轨均采用高自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨受磨损
三轴均采用高欧洲光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形
Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,消除了运动扭摆,了测量和稳定性
各运动轴均采用直流伺服驱动,运动的平稳和准确
X向采用精密三角梁技术,相比矩形梁和横梁,重心更低,质量刚性比,运动更加。
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