1、IF POD OPENER （AUTO）
自动开盒器 型号：KH200–1–A
功能描述
1） if pod底盘安放位置检测
position sensor 双位置检测
2） 硅片突出检测（1mm）避免破片危险
3） 升降，开闭等动作时报警
4） 缓启动，缓停止功能，减少冲击
5） 一触式按钮开盒动作
6） 双按钮关动作，夹功能
7） 开闭盒期间，盒罩锁住固定功能
8） 状态显示灯，报警功能
9） 单次开／闭盒时间 ＜＝14 秒
10） 设备电力 220V
2、手动开盒器 型号 KH200–1–M
功能描述
1） if pod底盘3点定位
2） 开闭盒位置磁性锁住功能
3） 底座，滑措施
4） 静电，洁净材料运用
3、光罩盒开盒器 型号：KHR200–1–R
功能描述
1） reticle pod底盘安放位置检测
position sensor 双位置检测
2） 光罩突出检测 （2.5mm）
3） 升降，开闭等动作时报警
4） 缓启动，缓停止功能，减少冲击
5） 一触式按钮开 ／ 闭盒动作
6） 双按钮关动作，夹功能
7） 洁净材料运用，静电对应
8） 状态显示灯，报警功能
9） 单次开／闭盒时间 ＜ ＝ 12 秒
10） 设备电力 220V
自动开盒器 型号：KH200–1–A
功能描述
1） if pod底盘安放位置检测
position sensor 双位置检测
2） 硅片突出检测（1mm）避免破片危险
3） 升降，开闭等动作时报警
4） 缓启动，缓停止功能，减少冲击
5） 一触式按钮开盒动作
6） 双按钮关动作，夹功能
7） 开闭盒期间，盒罩锁住固定功能
8） 状态显示灯，报警功能
9） 单次开／闭盒时间 ＜＝14 秒
10） 设备电力 220V
2、手动开盒器 型号 KH200–1–M
功能描述
1） if pod底盘3点定位
2） 开闭盒位置磁性锁住功能
3） 底座，滑措施
4） 静电，洁净材料运用
3、光罩盒开盒器 型号：KHR200–1–R
功能描述
1） reticle pod底盘安放位置检测
position sensor 双位置检测
2） 光罩突出检测 （2.5mm）
3） 升降，开闭等动作时报警
4） 缓启动，缓停止功能，减少冲击
5） 一触式按钮开 ／ 闭盒动作
6） 双按钮关动作，夹功能
7） 洁净材料运用，静电对应
8） 状态显示灯，报警功能
9） 单次开／闭盒时间 ＜ ＝ 12 秒
10） 设备电力 220V
