三辅均采用高增量式金属光栅尺
Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,消除了运动扭摆,了测量和稳定性
采用RENISHAW的控制系统,了机器的动态性能测量
各运动轴均采用直流伺服驱动,运动的平稳和准确
X向采用精密三角粱技术,相比矩形梁和横梁,重心更低,质量刚性比,运动更加
软件为Serein Dmis,经济易学实用
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