型号:VMC222 VMC322 VM32 VMC542
行程(mm)200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200
外部尺寸(mm)1040×740×1620、1040×740×1620、1240×800×1620、1440×1000×1620
重量(kg)240 250 310 400
承重(kg)25 25 25 25
测量 XY轴*E2=(2.5+L/200)μm E2=(3.0+L/200)μm
Z轴**E1=(5.0+L/200)μm
速度 XY轴 200mm/S
Z轴 100mm/S
光栅尺 1.0μm分辨率
CCD 1/2"CCD 黑白/彩色
光源轮廓光 LED冷光源,256级亮度可调
表面光 6环8区LED冷光源,各段操控,256级亮度可调
同轴光可选配,参数同轮廓光
光学系统***6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326
软件 Vispec测量软件(VMC版)
运动控制自主的CNC直流伺服系统
保修期 1年
工作环境温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
电源 220V/50Hz/10A