机器型号 Croma8106型行程大小mm X 800
Y 1000
Z 600
承重 500测量空间mm Dx 934
机器重量kg 1074 Dz 144
MPEe(um)3.0+L/300 Dz1 794
MPEp(um)3.5外形尺寸mm Lx 1350
光栅尺分辨率um 0.078 Ly 1935
空间移动速度m m/s 520 Lz 2729
空间移动加速度m m/s 1730平台mm pH 805
流量/供气压力 120N1/min 0.45Mpa Py 1555
温度 20&plun;2℃支撑mm Sy 1178
湿度 45%-75%Sy1 379
其他说明
机器型号 |
Croma8106型 |
行程大小mm |
X | 800 |
Y | 1000 | |||
Z | 600 | |||
承重 | 500 |
测量空间mm |
Dx | 934 |
机器重量kg | 1074 | Dz | 144 | |
MPEe(um) | 3.0+L/300 | Dz1 | 794 | |
MPEp(um) | 3.5 |
外形尺寸mm |
Lx | 1350 |
光栅尺分辨率um | 0.078 | Ly | 1935 | |
空间移动速度m m/s | 520 | Lz | 2729 | |
空间移动加速度m m/s | 1730 |
平台mm |
Ph | 805 |
流量/供气压力 | 120N1/min 0.45Mpa | Py | 1555 | |
温度 | 20&plun; 2℃ |
支撑mm |
Sy | 1178 |
湿度 | 45%-75% | Sy1 | 379 |