气体质量流量控制器
标准量程(N2):0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;
0~1,2,3,5,10,20,30SLM
准:±1%F。S;重复:±0.2%F。S
响应时间:电特性<10sec气特性<1~4sec
线性:±(0.5~1)%F。S工作压差范围:0.05~0.3MPa
耐压:3,10MPa;工作环境温度:5~45℃
输入输出信号电压:0~+5.00V
电源:+15V500mA,-15V500mA(输入阻大于100K,输出电流不大于3mA)
电连接器:D14pin
外形尺寸:130*28*121mm
重量:约1.0kg
接口尺寸:Swagelok:Φ3、Φ6、Φ10、Φ1/4〞、Φ3/8〞
VCR接头:Φ1/4〞、Φ3/8〞、Φ1/8〞