产品概述：
FS4000系列是美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。
FS4008流量传感器，测量范围到50SLPM.可用于气流测量和控制设备。应用于麻醉设备、洁净气体监控，如：空气采样机，气体分析仪等。
产品特点：
-专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
-卡口式设计为多管路集成测量而设计
-快速地响应时间利于精密测量应用
-在麻醉机上表现卓越
-可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
-内置插件可适用于更多的应用
FS4000系列是美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于监测仪器，如空气采样和分析仪器9GC频谱仪）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低，压损小，测量范围到5SLMP，适用于粒子计数器和分析仪器等。
FS4008流量传感器，测量范围到50SLPM.可用于气流测量和控制设备。应用于麻醉设备、洁净气体监控，如：空气采样机，气体分析仪等。
产品特点：
-专为管径为3mm-8mm的固定气道中的低压气体流量测量而设计
-卡口式设计为多管路集成测量而设计
-快速地响应时间利于精密测量应用
-在麻醉机上表现卓越
-可变机械连接方式可轻松安装于不同的应用环境中
-内置插件可适用于更多的应用
其他说明
| FS4003 | FS4008 | 单位 | |
| 通径 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| 精 度 | &plun;(1.5+0.2FS) | % | |
| 重复性 | &plun;0.75 | % | |
| 压力 | 1.0 | MPa | |
| 工作温度 | -10 ~ 55 | o C | |
| 湿度 | < 95 | %HR | |
| 电源 | 8-24Vdc, 50mA | ||
| 输出方式 | RS232, I2C, 模拟 | ||
| 机械接口 | NPT, BSPT 或根据需要定制 | ||
| 校准条件 | 空气, 20 o C, 101.325 kPa | ||
