•Z轴光学式辅助对焦标记,大幅度降低人眼误差
•Z轴测量小读数可达0.1um•两种不同的对焦标记可依被测物体不同作任意切换
•采用光学非接触式测量高度/深度,被测物体变形或刮伤
•可搭载测量软件,做图像处理及计算
*操作简单,通过观察对焦标记就可以得到高的测量值
*重复测量:±1um(物镜在40X以上)
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上海米厘特精密仪器有限公司
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