主要特点
·采用压电陶瓷驱动；
·纳米级位移分辨率；
·重复定位高；
·优良的频率响应特性；
·采用计算机有限元分析等现代设计方法设计微动结构；
·可内置 LVDT 或电阻应变片式微位移传感器，方便实现循环控制；
·机体材料可选择铝合金、Invar 合金等，适用于不同的应用场合；
·采用电火花、线切割等加工工艺，以严格加工；
·从一维到六维六十余种型号，已形成系列产品；
·采用的表面处理工艺，了适应不同工作环境的能力。
·采用压电陶瓷驱动；
·纳米级位移分辨率；
·重复定位高；
·优良的频率响应特性；
·采用计算机有限元分析等现代设计方法设计微动结构；
·可内置 LVDT 或电阻应变片式微位移传感器，方便实现循环控制；
·机体材料可选择铝合金、Invar 合金等，适用于不同的应用场合；
·采用电火花、线切割等加工工艺，以严格加工；
·从一维到六维六十余种型号，已形成系列产品；
·采用的表面处理工艺，了适应不同工作环境的能力。
