NXXD-SH-20型硅料清洗机适用于6-200mm多晶硅料的酸腐蚀、清洗处理。用户操作人员手动上料后，手动酸腐蚀后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高，运行成本低，生产效率高，性能稳定，等特点。
主要技术指标
槽体数量：腐蚀槽：1个
DI水清洗槽：1个
水中传递槽：1个
声槽：3个
三级溢流槽：1个
清洗硅料数量：每个提篮可放置15Kg硅料
使用氮气压力：0.3～0.5Mpa
氮气流量：≤5-7L／min
接口管径：OD 3／8″
使用压缩空气压力：0.3～0.6MPa
压缩空气流量：≤5-7L／min
接口管径：OD 3／8″
使用DI水压力：0.3～0.4MPa
DI水流量：≤24L／min
接口管径：ODφ1″
排水口管径：ODφ63mm
设备废气排风量：≥8500L／min／每个排风口
化学液排放：ODφ40mm
电源：～380V&plun;38V 50Hz 三相五线制
功率：3kW
外形尺寸（长×宽×高）：
6400mm（含上、下料）×1400mm×2300mm（含排风接口）
重量：2100kg
设备结构及工作原理
如图1所示。NXXD-SH-20型去硅料清洗机清洗机主要由由机架、排风系统、工艺处理部分（包括一个腐蚀槽、一个DI水清洗槽、一个水中传递槽、三个声槽、及一个三级溢流槽）、上下料系统、传动系统、水路、气路控制系统以及电气控制系统等组成。
主要技术指标
槽体数量：腐蚀槽：1个
DI水清洗槽：1个
水中传递槽：1个
声槽：3个
三级溢流槽：1个
清洗硅料数量：每个提篮可放置15Kg硅料
使用氮气压力：0.3～0.5Mpa
氮气流量：≤5-7L／min
接口管径：OD 3／8″
使用压缩空气压力：0.3～0.6MPa
压缩空气流量：≤5-7L／min
接口管径：OD 3／8″
使用DI水压力：0.3～0.4MPa
DI水流量：≤24L／min
接口管径：ODφ1″
排水口管径：ODφ63mm
设备废气排风量：≥8500L／min／每个排风口
化学液排放：ODφ40mm
电源：～380V&plun;38V 50Hz 三相五线制
功率：3kW
外形尺寸（长×宽×高）：
6400mm（含上、下料）×1400mm×2300mm（含排风接口）
重量：2100kg
设备结构及工作原理
如图1所示。NXXD-SH-20型去硅料清洗机清洗机主要由由机架、排风系统、工艺处理部分（包括一个腐蚀槽、一个DI水清洗槽、一个水中传递槽、三个声槽、及一个三级溢流槽）、上下料系统、传动系统、水路、气路控制系统以及电气控制系统等组成。
