产品简介
PR系列白光干涉三维形貌仪是采用日本技术研制开发的测量仪器，该仪器拥有多项国内发明。仪器采用白光干涉原理，测量样品表面微细形状分布。是综合运用光电子技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工技术、数字信号处理技术、应用光学技术、精密控制技术、计算机采集和控制技术、高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。为使用者提供高度、高解析度、快速、非接触的三维形貌测量。可以快速测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸至纳米级别。操作方便快捷、应用范围广泛。仪器分高型(PR06系列)和标准型（PR05系列），满足用户不同级别的测量需求。
产品特点
非接触测量避免被测件受损
度测量可达97μm/s
高测量垂直解析度0.1nm，水平解析度0.43um
高稳定测量标准台阶重复测量性≤1% @1σ
大面积测量自动缝合的大范围型号可供选择
技术的解析算法
透明膜形状测定功能
友好的人机界面PuruiVision应用软件大
多参数选择可以测量三维形貌、粗糙度等指标
适用范围广可以测量多种类型样品的表面结构
真正意义上的免维护设备
优良的性价比
应用领域
精密机械加工表面/半导体硅片及设备/MEMS装置表面/磁数据存储设备/材料/光电精密制造/金属摩擦学/薄膜陶瓷等表面/聚合物和生物材料/光学器件表面
性能参数表
测量实例