传统的光谱仪,是在大气中测量的。进入“真空紫外”段(200纳米以下),其光谱特性的测量需在真空条件下,由精密的光学系统来完成。其关键技术:
(1) 真空状态下的精密机械动密封。
(2) 油处理。
(3) 连续可调密封狭缝。
(4) 光栅的机械补偿校正。
点:
(1) 对各关键环节採用了分布式微处理器的自动控制。
(2) 设计的附加设备,可实现多样片同时测试,减少了在密封条件下频繁安装与拆卸,了测试效率与。
(3) 取消了传统的动密封,了系统的真空度。
本产品的性能已国外同类产品水平,主要技术指标:
短波长≤50nm(纳米)
分辨率:0. 02nm(纳米)
国内水平()。