视觉系统摄像系统彩色数字CCD相机
照明系统 白色LED光源
分辨率 18um
检测方法 彩色运算,颜色提取,灰阶运算,图像比对等
机械系统 X/Y驱动系统交流伺服电机+精密研磨滚珠丝杆
夹板方式 自动夹具
定位 <8 um
移动速度 800mm/s(MAX)
轨道调整 手动
软件系统操作系统 Windows XP
界面语言 中,英文可选界面
检测结果输出 基板ID,基板名称,元件名称,缺陷名称,缺陷图片
电源规格 AC220&plun;10%,50/60HZ,1KW
环境温度-10-40℃
环境湿度 10-85%RH(无凝霜)
外形尺寸 900×1100×1300mm