新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的新需求变化而设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应末端，用来监测纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。
亮点
- 对 ppb 级别湿度异动的快速响应
- 低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)
- 多点测量安装的概念
- 维护要求低
- 信号灯式的状态指示
- 可设置和报警点
- Modbus 网络兼容
- 远程控制界面的多通道软件
- (UHP) 纯气体的管线检测
技术指标 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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