氢气和氩气经气体预热炉预热（单独预热，预热温度均为560℃）后，氩气进入NbCl5气化罐内（图2），载带NbCl5蒸汽，在阀门V6的后端与氢气混合，混合后进入沉积室下端，经过气体分布板，进入沉积室内部（图2），沉积室直径约为100mm.氢气的量很大，能够将沉积室内的UO2球流化（氢气可以将UO2球像沙子样吹起来，在沉积室内翻腾），进入沉积室内的NbCl5蒸汽与氢气反应。UO2球装载量为2-3kg，粒度为0.1mm，反应温度为800-900度。反应产生的金属铌沉积在UO2球表面上（因此反应温度等于沉积温度），反应产物经尾气喷淋洗涤塔吸收后排出。
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