真空涂敷设备

型号分类及腔体尺寸 

Parylene在电子、微电子领域的应用

Parylene是一种具有优异电性能的敷形涂层材料，问世后先在电子领域得到了应用。1972年列入美军标46058C允许作为印刷电路板的敷形涂层材料，涂层厚度为0.0005—0.002英寸。

Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工件上有很强的渗透性，能渗透到SMT贴片工件的底部和工件表面疏松的毛细孔中，真正形成敷形、均匀一致的护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有针孔，气态小分子在工件表面直接聚合成固态的涂层薄膜，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

Parylene材料本身有很优异的物理机械性能和电性能，不机械强度好，磨擦系数低，水汽透过率低，而且介电强度高，缘电阻高；介质损耗和介电常数也比较低，作为护涂层它能覆盖从工频到10DHZ以上频率段电路使用。作为电子电路的护涂层，Parylene不需另加霉剂，本身霉能达级。在盐雾试验中，与其它涂层相比，Parylene护的电路电阻几乎降，其它涂层则都有较大的下降。很薄的Parylene涂层能提供优异的护性能，还有利于电路板工作热量的消散，因此作为护涂层Parylene能使电路具有更高的性，是小型高密集度电子的护，Parylene更显示出其的优势

Parylene在文物／标本上的应用

Parylene是一种用的真空气相沉淀工艺由聚合物的小分子在基材表面“生出”的薄膜，能轻易在被保护的文物、标本表面形成1-100微米厚的保护层，无需另加霉剂，本身霉能达级。脆弱的文物、标本等可用Parylene保护，能文物标本、生物、动植物标本朽蚀及虫蛀，无需保护就能长期保存，这种保护技术被称为“真空镀膜技术”，是专门使用在航空、航天设备上的，经南京博物院文物保护研究所研究使用证明。该项技术可使文物“寿命”长延长到13以上，被誉为是一种可给考古界、生物界带来福音的新型保护材料，能解决其它材料不能解决的文物保护问题。 

 Parylene在上的应用

Parylene是一种化学惰性好又具有良好生物相容性的高纯涂层材料，美国FDA，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可表面润滑性、生物相容性、性，不需要经升温固化过程，室温下成膜，不需要催化剂，因此生物传感器、骨钉、骨板、心脏起搏器等植入性器件经Parylene涂敷可生物相容性，在生物环境中工作的性。导尿管经Parylene涂敷后可润滑性，减少病人的痛苦。

体外组织培养实验，细胞都较容易地在Parylene C 型涂层表面形成一层薄的正常组织附着层，在小牛身上进行的体内细胞生长实验获得成功。Parylene生物性实验的结果归纳为药品及器件文件，由美国食品与药品管理局。 

Parylene在磁芯上的应用

Parylene真空涂敷技术有优异的电性能，介电性能和低的介质损耗及高的介电强度。同时它还具有优良的机械性能，高的机械强度和低的摩擦系数，它不能提供缘而且也能消除摩擦引起的绕线时对线的损伤。Parylene涂层较薄且厚度均匀使绕线器件能保持的绕线窗，并在棱角处有的涂层厚度，使性能参数大的。明显刷涂,浸涂,喷涂等其它涂敷技术。它的性主要是气相单体直接形成固体涂层而没有液态的过程。涂层是从基材的表面向外“生长”，形成一个均匀厚度涂层，在1微米以下时也是无针孔的。又由于Parylene涂层是在室温下形成的，因此可以固化时由热膨胀引起的应力问题。

近年来磁性材料的发展出现了烧结和粘结钕铁硼元件，它可制成很小的形状，使用Parylene涂敷工艺具有很突出的性。小型钕铁硼磁性器件是易碎的，添加Parylene涂层还可增加强度。钕铁硼材料对来自大气在的潮湿产生的腐蚀也是很敏感的，Parylene低的水汽透过率还提供了优异的潮腐蚀护。Parylene涂敷还能降低加工处理及劳动力的费用。因为它能用卧式机系统同时一批涂敷成千上万个工件进行VDP工艺处理，这点与滚筒式电镀相似。这种新技术开发和工程师设计师合适的使用现有技术及新的工具，将会有可能较好的解决当前遇到的一些复杂的问题。

Parylene在磁性材料上的应用

Parylene涂敷过程在真空下进行， 有优异的电性能，优异的介电性能和低的介质损耗和高的介电强度。优良的机械性能，高的机械强度和低的摩擦系数，它不能提供缘而且也能消除摩擦引起的绕线时对线的损伤。Parylene涂层较薄且厚度均匀使绕线器件能保持的绕线窗，并在棱角处有的涂层厚度。使性能参数大的。作为一种涂敷技术,明显优余刷涂，浸涂，喷涂等其它涂敷技术。在传统方法中由于表面张力而引起的从棱角处流淌到低的沟槽里积料的现象它不会发生。涂层是从基材的表面向外"生长"，形成一个均匀厚度的敷形涂层，在1微米以下时也是无针孔的。不需要经升温固化过程，室温下成膜，不需要催化剂。
   除了这些内在的性质以外，同时它还具有优良的机械性能，有高的机械强度和低的摩擦系数，不能提供缘而且也能消除摩擦引起的绕线时对线的损伤。Parylene涂层较薄且厚度均匀使绕线器件能保持的绕线窗，并在棱角处有的涂层厚度，使性能参数大的。
   Parylene也被用于用传统材料会“有包容物”伤害的元件，和用于小型铁氧体变压器和电感器。的绕线窗对小型转子、定子组件是其重要的，通常粘结镍铁叠片组件用环氧树脂或聚四氟乙烯材料涂敷是很困难的。因为它有复杂的形状和涂层材料会在小的绕线孔内停留，而均匀一致的Parylene能保留这些小窗孔，的例子是一个很小的圆筒形磁芯用作助听器中(拾音)线圈。
   近年来磁性材料的发展出现了烧结和粘结钕铁硼元件，小型钕铁硼磁性器件是易碎的，钕铁硼材料对来自大气中的潮湿产生的腐蚀也是很敏感的，添加Parylene涂层可增加强度。低的水汽透过率还提供了优异的潮腐蚀护。
   Parylene涂敷还能降低加工处理及劳动力的费用。因为它能用卧式机系统一批涂敷成千上万个工件，这点与滚筒式电镀相似。这种新技术开发和使用将会解决当前遇到的一些复杂的问题。