技术参数
材料(标准):光谱纯石英/304L不锈钢/可伐
材料(非磁性):光谱纯石英/316N不锈钢/钽
密封:低温钎焊
20时压强:ar(单向)
温度:200
范围:0.19-2μm
漏率:<1×10-10ATM?cc/sec(He)
压力:<1×10-11Torr
表面品质:20/10scratch/dig
可根据需要更好的scratch/dig
平面度:<8
可根据需要更好的平面度,但增加的厚度会影响广的。
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