压电陶瓷微致动器

　　产品特点
　　换能效率高
　　位移高（纳米级）
　　输出力大（可10000N）
　　响应速度快（亚毫秒到微秒）
　　功耗低
　　无电磁干扰
　　澡声低
　　滞后小
　　回再现性好
　　稳定性好
　　可采用相对简单的电压控制方式等
　　  
　　应用范围
　　各种精密微动台
　　自适应光学变形镜
　　光纤和激光调谐
　　光学微处理系统
　　飞行器控制
　　振动主动控制
　　扫描探针显微镜
　　精密加工、集成电路制造
　　生物工程
　　快响应精密燃油喷嘴
　　微泵、微阀等
　　            
　　压电陶瓷微致动器
　　产品特点
　　换能
　　位移高（纳米级）
　　输出力大（可10000N）
　　响应速度快（亚毫秒到微秒）
　　功耗低
　　无电磁干扰
　　澡声低
　　滞后小
　　回再现性好
　　稳定性好
　　可采用相对简单的电压控制方式等
　　  
　　应用范围
　　各种精密微动台
　　自适应光学变形镜
　　光纤和激光调谐
　　光学微处理系统
　　飞行器控制
　　振动主动控制
　　扫描探针显微镜
　　精密加工、集成电路制造
　　生物工程
　　快响应精密燃油喷嘴
　　微泵、微阀等
　　型号外形尺寸［mm］标称位移um　位移推力刚度静电容量
　　HT0303/3  3×3×3  3  330  70  0.06  
　　HT0303/5  3×3×6  5  330  55  0.11
　　HT0303/10  3×3×10  10  330  33  0.25  
　　HT0505/5  5×5×6  5  900  180  0.35  
　　HT0505/10  5×5×10  10  900  108  0.55  
　　HT0505/20  5×5×18  20  900  60  0.9  
　　HT0505/30  5×5×28  30  900  38  1.9  
　　HT0505/40  5×5×38  40  900  28  2.70