SP0100系列蓝宝石压力传感器
测量介质:与钛合金和不锈钢兼容的液体、气体或蒸汽
标准量程:0?0.004MPa--0?160MPa
过载压力:10MPa以下量程 2倍上限压力
10MPa以上量程 1.5倍上限压力
破坏压力:10MPa以下量程不小于4倍上限压力
10MPa以上量程不小于2倍上限压力
:&plun;0.1%;&plun;0.2%(含非线性、迟滞、重复性)
点输出:&plun;0.1mV/V(对0.1级);&plun;0.2mV/V(对0.2级);
量程输出:5&plun;0.2 mV/V
工作温度:-65℃?+150℃
附加温度误差:不大于&plun;1%(对0.1级);不大于&plun;2%(对0.2级)(-40?+80℃范围内)
电源电压:10VDC(标称);15VDC()
输入和输出电阻:R in≥2kΩ;R out≤5kΩ
缘电阻:>100MΩ@500V
护等级:IP65
重量:不大于0.15kg
过程连接:M20×1.5;M12×1.5
■优质的基础部件--蓝宝石传感器技术简介
硅蓝宝石压力传感器硅-蓝宝石材料
*热性好、弹、缘强度高
*异质外延性压敏电阻没有 p-n结和均质合金
*可以牢固的钎焊在金属和陶瓷材料上辐射
硅蓝宝石压力传感器的沿革
*上个世纪70年代以前,苏联先在世界上尝试使用硅蓝宝石测量压力。
*世界上出现了个以硅蓝宝石为材质制成的压力传感器-“晶体”。
*90年代:整体,减少外型尺寸,改进制造工艺,拓宽使用范围向美国、捷克、中国等国出口。
*2000年,硅-蓝宝石共有30种类型的传感器,16种类型的变送(过12000种参数)。
硅-蓝宝石压力变送器的内部结构
*双层单膜片结构(Ti+硅蓝宝石)单敏感元件,高压破坏试验,化学腐蚀材质(Ti)
*双层双膜片结构(Ti+硅蓝宝石)测低压力,开放式膜片
*单层单膜片结构(硅蓝宝石)温度误差小。
硅?蓝宝石高温压力传感器在发展过程中的
*的物理和化学结构带来的性能,不存在PN结和结效应,其理论工作温度可以520℃
*芯片引出线改金焊为铝焊,避免金溶点低造成引线失效,适应硅?蓝宝石传感器高温特性
*在真空焊接工艺上采用了新的材料和工艺参数,硅?蓝宝石芯片与受力膜片粘结的一体性和稳定性
*发展了新型的膜片式和熔体式压力传感器
本公司在利用硅?蓝宝石高温压力传感器基础上的
*利用蓝宝石传感器的特性,创立了信号提取及剥离的原理及工艺,该原理的基本方法是根据取样电阻(桥臂电阻)对温度变化量值,对温度引起的漂移进行跟随补偿
*采用附件电源法作为辅助方程准确求得桥臂四个电阻真值,地进行温度补偿,消除硅?蓝宝石压力传感器由于工艺原因,电桥失配,产生的位温漂
*研制成虚拟界面法,将力参数及电参数融为一体进行电路,解决了非电量与电量共同的难题,准确性96%
国际上有关技术的进展
*微压处理方面进展较大,目前量程小于4kPa的已有生产
*膜片式传感器和高温熔体式传感器是新产品
*熔体式传感器的优点是不用水银做压力传导介质,适合了国际要求
本公司在使用该技术上的进展
*开发成功我国目前在生产中能同时测温测压的油井长期测量系统,还可进一步发展成能生产测井(勘探用)的测量系统
*开发成功我国的硅?蓝宝石溶体式测温测压系统,性能和结构均目前我国工业界所普遍采用的美国Dynisco公司和意大利Geflon公司的同类产品
*运用虚拟界面理论进行补偿,解决了硅?蓝宝石传感器铝焊接片和蓝宝石芯片的接触电动势带来的温漂难题