限真空 低于9.0E-5pa
恢复真空 10min内3.0E-3pa
空 低于9.0E-2pa
温度均匀性 280℃±10℃(30min加热后)
成膜均匀性 小于5nm
成膜再现性 小于5nm
成膜控制 全自动软件控制
咨询电话SERVICE LINE
86-20-29075266
18688873603

扫一扫
进入手机店铺