钛泵-广州保达钛泵性能：
（1）限压强：10-8帕
（2）抽速：
钛泵的抽速与阳电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应抽速的阳电压也高。常用钛泵的抽速有25升／秒、5升／秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速50升／秒、100升／秒等。
（3）启动压强：10-2帕
（4）寿命：
a、阴耗尽寿命
阴钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
b、阳剥落寿命
阳内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。
c、阳吸饱寿命
阳上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当饱和状态时泵吸附气体。
在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。
（1）限压强：10-8帕
（2）抽速：
钛泵的抽速与阳电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应抽速的阳电压也高。常用钛泵的抽速有25升／秒、5升／秒。对于需要大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速50升／秒、100升／秒等。
（3）启动压强：10-2帕
（4）寿命：
a、阴耗尽寿命
阴钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
b、阳剥落寿命
阳内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落，导致泵内压强的不规则强烈变化，使泵无法使用。
c、阳吸饱寿命
阳上吸附和溶解了大量的氦气、氢气，当饱和状态时泵吸附气体。
在正常使用情况下，溅射离子泵的寿命可达几万小时。
