主要技术特点
□ 各清洗槽功能可根据用户要求配置
□ 槽体材料可选用石英、PTFE、PVDF、
□ PP和不锈钢等
□ PLC控制,触摸屏操作面板
□ 温控,可±0.5℃
□ 伺服驱动系统及片盒传输系统
□ 关键外购件选用材料
□ 多种工作模式:全自动、半自动、手动等
□ 实时状态显示及故障报警
□ 腐蚀槽配置自动盖
□ 可实现化学液循环、自动配液等功能
主要技术指标
□ 清洗片盒数量:每个载体9盒
*可根据用户定制
□ 氮气压力:0.3~0.35MPa
□ 压缩空气压力:0.45~0.6MPa
□ 去离子水压力:0.2~0.3MPa
□ 自来水压力:0.2~0.3MPa
□ 排水口管径:OD φ60mm
□ 设备废气排风量:≥8500L/min/每个排风口
□ 电源:AC380V±38V 50Hz (三相五线制)