机器尺寸 800X650X520mm（L X W X H）。
伺服平台平台尺寸：400mmx300 mm，XY移动行程：350X270mm，可定做更大行程的工作平台。
测量光源：精密红色激光线，照明光源：环型白色LED照明，测量模式：可编程多处自动扫描测量。视场：20X－100X 5档可调。
高度测量 0.002mm.高度重复测量±0.002mm.
摄像机扫描频率，60 Field/Sec.扫描范围多处，任意大小，可编程。
3D 模式：3D 模拟图，3D数据测量。
XY扫描间距 0.005mm-5mm 可任意设定电动。其他测量功能：2维测量，数据管理，其他元器件，线路，油墨高度等扫描测量。
操作系统 Windows，重量 55 KG.
程序编制功能方便多次重复扫描，大的SPC统计分析系统。
伺服平台平台尺寸：400mmx300 mm，XY移动行程：350X270mm，可定做更大行程的工作平台。
测量光源：精密红色激光线，照明光源：环型白色LED照明，测量模式：可编程多处自动扫描测量。视场：20X－100X 5档可调。
高度测量 0.002mm.高度重复测量±0.002mm.
摄像机扫描频率，60 Field/Sec.扫描范围多处，任意大小，可编程。
3D 模式：3D 模拟图，3D数据测量。
XY扫描间距 0.005mm-5mm 可任意设定电动。其他测量功能：2维测量，数据管理，其他元器件，线路，油墨高度等扫描测量。
操作系统 Windows，重量 55 KG.
程序编制功能方便多次重复扫描，大的SPC统计分析系统。
