ASM142氦质谱检漏仪是法国公司新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪
器。
可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
该检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达
到了细检漏的目的。
合美国真空标准S2.1以及国际标准ISO3530的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿
系统。开机5分钟后完成准备工作，可以开检。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。
工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：大气突然冲入。
技术规格：
灵敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率显示范围：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
检漏的时间（空盒时）：小于30秒
发射电流显示：0.2—2mA
检漏口对氦气的抽速：1.3升/秒
启动时间：小于5分钟
接口尺寸：DN 25 KF
外观尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
电源：
220V 50Hz 单相
器。
可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
该检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达
到了细检漏的目的。
合美国真空标准S2.1以及国际标准ISO3530的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿
系统。开机5分钟后完成准备工作，可以开检。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。
工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：大气突然冲入。
技术规格：
灵敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率显示范围：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
检漏的时间（空盒时）：小于30秒
发射电流显示：0.2—2mA
检漏口对氦气的抽速：1.3升/秒
启动时间：小于5分钟
接口尺寸：DN 25 KF
外观尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
电源：
220V 50Hz 单相
