产品简介：
FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
产品特点：
-专为呼吸机和麻醉机的流量计量需求而设计
-高灵敏度，应用热式质量流量计原理可测量至8mm／sec的流体流量
-无旁通结构，低压损
-传感器的点稳定度高
-经液处理后可重复使用
-自动转换量程的开关设计了测量
-主机设备上的用户界面可轻松实现线性输出
FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
产品特点：
-专为呼吸机和麻醉机的流量计量需求而设计
-高灵敏度，应用热式质量流量计原理可测量至8mm／sec的流体流量
-无旁通结构，低压损
-传感器的点稳定度高
-经液处理后可重复使用
-自动转换量程的开关设计了测量
-主机设备上的用户界面可轻松实现线性输出
其他说明
| 产品 | FS1015CL | 单位 | |
| 流量范围 | 0 - 150 | SLPM | |
| &plun;(1.5&plun;0.1FS) | % | ||
| 重复性 | &plun;0.75 | % | |
| 响应时间 | 10(Max.) | msec | |
| 工作电压 | 5&plun;1% | Vdc | |
| 输出方式 | 线性,模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
| 压损 | 500 | Pa | |
| 工作压力 | 0.2 | MPa | |
| 工作温度 | -10 - 55 | ℃ | |
| 储存温度 | -20 - 65 | ℃ | |
| 工作湿度 | <95(无结冰,无凝露) | %RH | |
| 机械接口 (入口:外;出口:内); | ISO-15 | ||
