1、纠偏系统:<=0.1mm
2、纠偏响应时间:4ms
3、纠偏速度:0–50mm/s
4、纠偏推力:300kg
5、纠偏系统AWG3000和AWG5000支持以太网。
6、纠偏功率120VA
咨询电话SERVICE LINE
86-10-64380505

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