椭偏仪 (ELLIPA,ELLIPE)

　　根据不同的技术和应用需求，本公司生产的椭偏仪应用于大学和研究所的科学研究领域，具有较完整的测量功能和较高的，从仪器状态调整、参数设置、数据采集一直到数据处理计算机自动完成，可工作于从红外至紫外的宽广光谱区，波长连续可调，入射角度在20度到90度内连续可调。公司研制生产并实现了市场的多年推广和应用的2个系列全自动单波长椭圆偏振光谱仪：型-全自动波长扫描椭圆偏振光谱仪（ELLIPA型），主要应用于科研；普及型-全自动单波长椭圆偏振光谱仪（ELLIPE型），主要应用于教学。　
　　
　　全自动波长扫描椭圆偏振光谱仪（ELLIPA型）－型　
　　该光谱仪主要用于信息光电子功能薄膜和体材料的光学性质和结构特性研究，可被研究材料的种类包括：金属和合金、元素和化合物半导体、缘体、导体、磁性和磁光材料、材料、多层薄膜材料等。在测量中，可按研究条件同时对入射角和波长进行自动精细扫描，从而增加了研究的灵，便于用户获得更多的光谱信息进行数据分析，了研究的质量和性。该光谱仪的主要性能指标国际同类技术的水平。
　　
　　ELLIPA型　
　　主要技术参数：　
　　波长范围　250-830nm　
　　光源　氙灯　
　　测量方式　同步　
　　定标方式　自洽、　
　　探测器　光电管　
　　入射角范围　20-90度　
　　
　　主要用途：　
　　1、各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；　
　　2、测量薄膜材料的折射率和厚度；　
　　测量对象包括：金属、半导体、导体、缘体、非晶体、晶格、磁性材料、薄膜材料、光电材料、非线性材料；　
　　测量光学常数：复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。　
　　主要性能指标：　
　　波长范围　250-830nm　
　　波长分辨率　1.0nm　
　　入射角范围　20-90度　
　　入射角　0.001度　
　　椭偏参数　D±0.02度；Y±0.01度　
　　光学常数　0.5％　
　　膜厚准确度　±0.1nm　
　　
　　全自动单波长椭圆偏振光谱仪（ELLIPE型）-普及型　
　　为了能在更广泛的领域推广应用椭偏光学的原理和技术，本公司研制了固定波长的变入射角椭偏仪，尤其适合于在大学的教学和工业生产领域使用，具有较高的性能价格比，为一款普及推广型的光谱测试设备。　
　　
　　设备技术指标：　
　　光源　半导体激光器　
　　波长　635nm　
　　入射角范围　20-90度　
　　测量模式　反射　
　　信号检测模式　12位A／D采样　
　　测量方式　以2：1速率同步旋转起偏和检偏器，自动完成AC信号测量　
　　数据测量方式　傅立叶变换　
　　实测光学常数种类　复折射率、复介电常数、吸收系数、反射率　
　　膜厚　±1nm　
　　系统定标方式　自洽、定标　
　　
　　主要用途：　
　　1、各种功能材料的光学常数测量和光谱学特性分析；　
　　2、测量薄膜材料的折射率和厚度；　
　　测量对象包括：金属、半导体、导体、缘体、非晶体、晶格、磁性材料、光电材料、非线性材料；测量光学常数：复折射率的实虚部、复介电常数的实虚部、吸收系数a、反射率R。